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imec宣布 High NA EUV 光刻技术重大突破!

比利时微电子研究中心(imec)日前发布重大消息,宣布其在高数值孔径极紫外曝光(High NA EUV)单次图形化技术上取得了新的突破性里程碑,代表着High NA EUV图形化能力向A10及更先进逻辑节点迈进的强大实力,同时也强调了Imec在曝光微影技术研发

光刻 imec euv光刻 euv t2t 2025-09-29 17:06  4

imec宣布 High NA EUV 光刻技术重大突破

比利时微电子研究中心(imec)日前发布重大消息,宣布其在高数值孔径极紫外曝光(High NA EUV)单次图形化技术上取得了新的突破性里程碑,代表着High NA EUV图形化能力向A10及更先进逻辑节点迈进的强大实力,同时也强调了Imec在曝光微影技术研发

光刻 imec euv光刻 euv t2t 2025-09-29 10:47  4